综述：微纳米尺度材料与结构的原位疲劳实验及性能研究进展

随着集成电路芯片、传感器、柔性电路系统、微/纳机电系统等微机械装置向集成化和小型化不断发展，如何预测其内部微纳米尺度结构和材料的机械性能及其可靠性成为了制约上述微机械装置进一步发展和应用的关键问题之一。在这些装置的长期使役过程中，微纳米尺度材料的疲劳性能又成为了近年来人们关注的热点问题。针对上述问题，首先，调研了与微纳米尺度材料原位疲劳实验方法和疲劳性能研究有关的文献。然后，总结了微纳米尺度原位疲劳实验方法和疲劳性能的研究现状，包括含有孪晶组织金属、梯度组织或粗细晶金属以及在单轴、多轴应力状态下的金属疲劳性能研究，并归纳了微纳米尺度界面疲劳损伤行为的研究现状。最后，对微纳米尺度材料的疲劳性能研究进行了展望，提出了对未来发展方向的思考。