| 一种利用激光干涉条纹位相进行微位移测量方法 |
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| 引用本文： | 傅继武,谈振兴,徐旭明,王鸣.一种利用激光干涉条纹位相进行微位移测量方法[J].南昌大学学报(理科版),2003,27(3):299-301. |
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| 作者姓名： | 傅继武 谈振兴 徐旭明 王鸣 |
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| 作者单位： | 1. 南昌大学,理学院,江西,南昌,330047
2. 南京师范大学,物理科学与技术学院,光电技术江苏省重点实验室,江苏,南京,210097 |
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| 基金项目： | 江苏省光电技术重点实验室开放基金资助项目(KJS01040)，南昌大学校基金资助项目(2135) |
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| 摘 要： | 利用激光干涉条纹的位相，提出了一种简便、快速且精度很高的微小位移的测量方法。实验表明，计算程序是可行，测量精度可达1／360的条纹间隔，可实现光学亚微米和纳米尺度的测量。
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| 关 键 词： | 激光干涉条纹 位相 微位移测量方法 测量精度 条纹间隔 干涉仪 光学纳米干涉测量 |
| 文章编号： | 1006-0464(2003)03-0299-03 |
| 修稿时间： | 2002年11月14 |
THE MICRO - DISPLACEMENT MEASURE BY USING THE PHASE OF LASER INTERFERENCE FRINGES |
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| FU Ji-wu,TAN Zhen-xin,XU Xu-ming,WANG Ming.THE MICRO - DISPLACEMENT MEASURE BY USING THE PHASE OF LASER INTERFERENCE FRINGES[J].Journal of Nanchang University(Natural Science),2003,27(3):299-301. |
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| Authors: | FU Ji-wu TAN Zhen-xin XU Xu-ming WANG Ming |
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| Institution: | FU Ji-wu~1,TAN Zhen-xin~1,XU Xu-ming~1,WANG Ming~2 |
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| Abstract: | Used the phase of laser interference fringes, a simple, fast and accurate micro displacement measuring method is proposed. The experiment indicates that the program is available. The measure accuracy can achieve one-three hundred and sixty fringes interval. This method can realize optical measure in the scale of submicron and millimicron. |
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| Keywords: | interference fringes phase of fringes fringes interval micro-displacement |
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