|
|||||
|
|
| ECR等离子体源中基本参数的数值模拟 | |
| 作者姓名： | 刘明海 吴汉明 |
| 作者单位： | 中国科技大学近代物理系，中国科学院力学研究所 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,LWTZ－1298经费 |
| 摘 要： | 采用混合模型求了ＥＣＲ等离子体的各种物理参量着重了中性气压、微波功率对等离子体参数以及离子能量和方向角分布的影响，并讨论了与之相关的均匀性、方向性等物理问题。 |
| 关 键 词： | ECR 等离子体源 粒子模拟 参数 数值模拟 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |