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V波段3 W GaN功率放大器MMIC
引用本文:刘如青,刘帅,高学邦,付兴中.V波段3 W GaN功率放大器MMIC[J].半导体技术,2021,46(8):599-603,634.
作者姓名:刘如青  刘帅  高学邦  付兴中
作者单位:中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051
摘    要:以50 μm厚的SiC为衬底,基于T型栅GaN HEMT工艺技术,设计并制作了一款V波段GaN功率放大器单片微波集成电路(MMIC).该功率放大器MMIC电路采用三级放大拓扑结构进行设计;采用高低阻抗微带传输线进行阻抗匹配和片上功率合成;采用介质电容和薄膜电阻进行偏置网络设计,实现稳定工作和低损耗输出.经测试,在55~65 GHz频带内,漏极工作电压+20V、栅极工作电压-2.3 V的偏置条件下,在占空比20%、脉宽100 μs脉冲状态时,该功率放大器MMIC的饱和输出功率达到3 W以上,功率附加效率达到22%;连续波状态时,其饱和输出功率达到2.5 W以上,60 GHz时最高功率达到3 W.

关 键 词:V波段  氮化镓  功率放大器  单片微波集成电路(MMIC)  连续波

V-Band 3 W GaN Power Amplifier MMIC
Liu Ruqing,Liu Shuai,Gao Xuebang,Fu Xingzhong.V-Band 3 W GaN Power Amplifier MMIC[J].Semiconductor Technology,2021,46(8):599-603,634.
Authors:Liu Ruqing  Liu Shuai  Gao Xuebang  Fu Xingzhong
Abstract:
Keywords:
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