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| 相位校正器粘接局部应力控制技术 | |
| 作者姓名： | 徐宏来 向汝建 卢飞 雒仲祥 李国会 |
| 作者单位： | 1.中国工程物理研究院 应用电子学研究所, 四川 绵阳 621 900; |
| 摘 要： | 通过理论分析,对相位校正器的镜面与支撑结构间的粘接建立模型进行仿真研究,提出了在相位校正器镜片上加工小圆柱,使其粘接应力由镜片本身转移到突出部位的小柱子上,有效改善了相位校正器镜面局部粘接应力,使镜面局部高阶像差得到缓解,并通过试验验证了其有效性。 |
| 关 键 词： | 相位校正器 粘接 应力 3D镜片 |
| 收稿时间： | 2015-01-24 |
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