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| YBCO超导薄膜的等离子体氟化研究 | |
| 引用本文： | 傅泽禄,顾大振,刘雷,赵恩海,康琳,冯一军,吉争鸣,王晓书,尹晓波,杨森祖. YBCO超导薄膜的等离子体氟化研究[J]. 低温物理学报, 2000, 22(6): 449-453 |
| 作者姓名： | 傅泽禄 顾大振 刘雷 赵恩海 康琳 冯一军 吉争鸣 王晓书 尹晓波 杨森祖 |
| 作者单位： | 1. 南京大学电子科学与工程系,微结构科学技术高等研究中心,南京,210093 2. 南京大学现代分析中心,南京,210093 3. 南京大学物理系,微结构科学技术高等研究中心,南京,210093 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究专项!(G19990 6 46 )，国家科委863(86 3 CD0 70 2 0 2 )项目 |
| 摘 要： | 本文利用ＣＦ４气体，对ＹＢＣＯ薄膜表面进行可控的ｒｆ等离子体氟化处理，ＡＦＭ与ＸＰＳ的分析结果表明：适当的氟化所起的作用主要为化学反应作用。氟化可造成Ｙ（３ｄ）与Ｏ（１ｓ）诸元素的本征峰相对强度减少，甚至消失；对Ｂａ（３ｄ），Ｂａ（４ｄ）和其它元素也有影响。本文的研究为利用等离子体氟化ＹＢＣＯ膜形成弱化势垒层提供了初步结果。 |
| 关 键 词： | YBCO 超导薄膜 等离子体氟化 超导电性 |
A STUDY OF INFLUENCE OF PLASMA FLUORINATION ON YBCO THIN FILM |
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| Z.L.Fu,D.Z.Gu,L. Liu,E.H.Zhao,L. Kang,Y.J.Feng,Z.M.Ji,X.S.Wang,X.B.Yin,S.Z.Yang. A STUDY OF INFLUENCE OF PLASMA FLUORINATION ON YBCO THIN FILM[J]. Chinese Journal of Low Temperature Physics, 2000, 22(6): 449-453 | |
| Authors: | Z.L.Fu D.Z.Gu L. Liu E.H.Zhao L. Kang Y.J.Feng Z.M.Ji X.S.Wang X.B.Yin S.Z.Yang |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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