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| 封面说明 | |
| 作者姓名： | 王太宏 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所 |
| 摘 要： | 中国科学院物理研究所Ｃ6 0 6组分别建立、发展了三种基于不同原理的纳米加工技术 ,制备了 6ｎｍ宽的线条栅和间隔仅为 6ｎｍ的“纳米电极对” .为开展碳纳米管晶体管及其电路的研究 ,该小组还发展了变形的“纳米电极对”的制备技术 ,制备出了非直线型的“纳米电极对”、双缝型的“纳米电极对”和定位型的“纳米电极对” .封面图为该研究小组利用“纳米电极对”技术制备的点接触平面栅型单电子晶体管的原理图 ,其结构由上至下为 :金属栅极、ＳｉＯ2绝缘层、Ｓｉ导电层、ＳｉＯ2 掩埋层和ＳＯＩ衬底的Ｓｉ层 .封面说明$中国科学院物理研究所@… |
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