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固体光学薄膜结构研究的一些进展
引用本文:仲永安.固体光学薄膜结构研究的一些进展[J].物理,1981(11).
作者姓名:仲永安
作者单位:陕西师范大学物理系
摘    要:一、引 言 我们现在所说的固体光学薄膜,大多数是指用真空蒸发的方法制备的薄膜,也就是所谓物理蒸汽淀积膜.这种薄膜的制备过程受着多种条件的影响.例如,由于蒸发材料、加热源材料、蒸发速率、环境条件、基体材料、基体温度等因素的不同,形成薄膜的性质和结构也就不同.而且理论

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