| 45°角入射的13.1nm软X射线多层膜的研制 |
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| 引用本文： | 邵建达,易葵,范正修,王润文,袁利祥.45°角入射的13.1nm软X射线多层膜的研制[J].中国激光,1998,25(6):565-569. |
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| 作者姓名： | 邵建达 易葵 范正修 王润文 袁利祥 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光机所 |
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| 摘 要： | 报道了对４５°入射角高反的１３．１ｎｍ软Ｘ射线多层膜反射镜的研制情况。利用在星光装置中进行的软Ｘ射线激光等离子体实验测量多层膜反射率的方法，获得了２６．２％的实测反射率，该反射率已达到理论反射率的７０％。
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| 关 键 词： | 软X射线多层膜，反射率，反射率测量 |
| 收稿时间： | 1997/2/14 |
Deposition and Absolute Reflectivity Measurements of a Mo/Si Multilayer for 13.1 nm Soft X ray at 45° Incidence Angle |
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| Abstract: | Reported here is a result of absolute reflectivity measurement carried out in a soft X-ray laser plasma experiment. A 26.2% reflectivity Mo/Si multilayer for 13.1 nm soft X-ray at the 45° incidence angle is obtained. |
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| Keywords: | soft X-ray multilayer reflectivity absolute reflectivity measurement |
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