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基于傅里叶变换的单帧闭合条纹相位解调方法
引用本文:徐建程,陈曌.基于傅里叶变换的单帧闭合条纹相位解调方法[J].光子学报,2014,43(8):810001.
作者姓名:徐建程  陈曌
作者单位:徐建程:浙江师范大学 信息光学研究所, 浙江 金华 321004
陈曌:浙江师范大学 信息光学研究所, 浙江 金华 321004
基金项目:国家自然科学青年基金项目(No.61205163)和浙江师范大学创新团队项目资助
摘    要:提出一种有效的单帧闭合条纹解调方法,该方法采用傅里叶变换、带通滤波器和傅里叶逆变换估得初始相位,然后通过图像分割、相位符号校正和Zernike多项式拟合得到高准确度相位分布.用图像分割和相位符号校正解决了相位符号不确定性,用Zernike多项式拟合抑制了分割线附近的局部相位误差.数值分析了残余相位误差与干涉图参量(如倾斜量、离家量和随机噪音)之间的定性关系,结果表明:该方法所得相位与ZYGO移相干涉仪测试结果吻合较好,残余相位误差小于参考值的1/10,验证了该方法的有效性.

关 键 词:干涉测量  相位解调  闭合干涉图  傅里叶变换
收稿时间:2013/11/29

Phase Demodulation of Single Closed Interferogram Based on Fourier Transform
Abstract:
Keywords:Interferometry  Phase demodulation  Closed interferogram  Fourier transform
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