高精度光学MEMS加速度计研究现状及发展 |
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引用本文: | 姚远,潘德彬.高精度光学MEMS加速度计研究现状及发展[J].光学与光电技术,2019,17(6):91-97. |
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作者姓名: | 姚远 潘德彬 |
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作者单位: | 华中科技大学-武汉光电国家研究中心,湖北武汉430074;华中光电技术研究所-武汉光电国家研究中心,湖北武汉430223 |
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摘 要: | 采用了光学检测技术和MEMS技术的微加速度计,不仅具有MEMS加速度计体积小、功耗低、可靠性高等优点,同时具备光学测量的抗电磁干扰和高精度的优势,是未来高精度加速度计的发展方向。分析了微光机电(MOEMS)加速度计的原理和结构特点,总结了MOEMS加速度计的主流分类和发展趋势。具体分析了光纤布拉格光栅式,法布里-珀罗干涉式、光子晶体纳米腔式以及光栅干涉衍射式加速度计的原理及目前达到的精度指标。对这几种微光机电加速度计的技术特点和主要指标进行了比较,并初步探讨了用于惯性领域中的MOEMS加速度计的发展方向和应用前景。
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关 键 词: | 光电检测 微光机电 加速度计 高精度 惯性领域 |
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