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TECNAI 10透射电镜真空系统的故障分析和检修
引用本文:可金星,黄文琪.TECNAI 10透射电镜真空系统的故障分析和检修[J].电子显微学报,2002,21(5):822-823.
作者姓名:可金星  黄文琪
作者单位:第三军医大学中心实验室,四川,重庆,400038
摘    要:本文讨论了TECNAI 10透射电镜真空系统的结构和工作程序 ,对所发生的故障进行了分析。TECNAI 10透射电镜的真空系统采用了前置真空泵 (Prevacuumpump简称PVP)、油扩散泵 (Oildiffusionpump简称ODP)和离子泵 (Iongetterpump简称IGP)三级真空。电子光学系统从下到上被分隔为储气桶 (Buffertank)、照相室 (Camera ,包括投影镜和观察室 )和电子枪 镜筒 (Gun Col)几个主要部分 ,相互间由阀门隔离 ;分别由Pir1、Pen3和IGP1对其进行真空监测。照…


Trouble shooting and repair on vacuum system of TECNAI 10 Transmission electron microscope
Abstract:
Keywords:
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