用AMRAY－1910FE场发射扫描电镜研究不同材料和方法的导电膜蒸镀对试样形貌观察的影响

本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法，用金和钯铱合金做为蒸发源，对样品表面蒸镀导电层。然后用ＡＭＲＡＹ－１９１０ＦＥ场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过５万倍以上观察试样时，由于金镀层粒度太大，因此不能用来做为表面导电镀层。但用高真空蒸发镀膜，用钯铱合金做为试样表面蒸镀材料，在２５万倍以下观察时，无论从膜的导电性方面或是其颗粒度方面来看都不失为一种较好的蒸镀材料。