|
|||||
|
|
| 水晶压力传感器 | |
| 引用本文： | 贺羽常道,钣塚丰,王大春.水晶压力传感器[J].压电与声光,1984(1). |
| 作者姓名： | 贺羽常道 钣塚丰 王大春 |
| 作者单位： | 日·司测研(株)技术部，日·司测研(株)技术部 |
| 摘 要： | 最近在压力测量动向中,大多数测量工作是在温度和振动等恶劣环境下进行,或者要求测量精度高达0.1％以上。随着微电子技术的迅速发展,虽然数据分析等系统提高了性能,但是将压力、流量、温度等物理量变换成电信号的传感器还尚未获得优良的性能。特别是适合上述要求的产品还很少。 以硅半导体技术为基础的扩散型压力传感器等,在价格和一般性能方面确具优点,但在恶劣环境下使用时,会发生温度漂移、腐蚀以及压力范围、液体中使用、 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |