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| 8相位256×256衍射微透镜的设计与制作 | |
| 引用本文： | 程志军,黄光,何苗,易新建.8相位256×256衍射微透镜的设计与制作[J].光电子技术与信息,2002,15(1):32-35. |
| 作者姓名： | 程志军 黄光 何苗 易新建 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学光电子工程系 2. 华中科技大学激光技术国家重点实验室 3. 华中科技大学教育部图象识别与人工智能重点实验室武汉,430074 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，60177011， |
| 摘 要： | 介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法,在此基础上研制出适用于3～5μm波长256×256PtSi红外焦平面的8相位256×256硅衍射微透镜阵列,阵列中微透镜的孔径为50μm,透镜F数为f/2.5,微透镜阵列的中心距为50μm.实测衍射效率大于80%,能在红外波前传感器中较好应用. |
| 关 键 词： | 衍射微透镜 衍射效率 红外焦平面 |
| 文章编号： | 1006-1231(2002)01-0032-04 |
| 修稿时间： | 2001年9月4日 |
Design and Fabrication of 256×256 Diffractive Microlens Array with 8 Phases |
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