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| 未来环境管理与新一代半导体工厂 | |
| 引用本文： | 孟泽.未来环境管理与新一代半导体工厂[J].世界电子元器件,1997(8):63-65. |
| 作者姓名： | 孟泽 |
| 摘 要： | 在International Symposium on Semiconductor Manufacturing'96会议上,曾对新一代半导体工厂和未来环境管理问题展开讨论,现将其主要内容摘编如下。 新一代半导体工厂和设备 1.21世纪半导体工厂形象 |
| 关 键 词： | 半导体工厂 环境管理 生产设备 |
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