高温MEMS薄膜热流传感器研究进展

对可用于高温环境的MEMS薄膜热流传感器(TFHFS)的测量原理、结构设计、材料成分以及制造技术进行了简单阐述，分别介绍了半无限几何、热阻式、热电堆和横向热电效应型TFHFS的结构特点和应用优势。归纳讨论了国内外科研团队研制的各种TFHFS的量热法、传感方式、结构、材料以及测量模式，按照热敏材料分为金属和合金型、陶瓷和新型聚合物衍生陶瓷型两类，重点关注TFHFS的高温稳定性、响应时间、灵敏度等性能。最后，总结了目前TFHFS面临的技术难题和发展趋势，可为应用于更严酷环境的高温薄膜热流测量技术提供参考。