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| 超表面结构MEMS红外超窄带光源研究 | |
| 引用本文： | 邹宇,蒋文静,欧文.超表面结构MEMS红外超窄带光源研究[J].光子学报,2022(1):312-320. |
| 作者姓名： | 邹宇 蒋文静 欧文 |
| 摘 要： | 针对常用的MEMS红外光源是类灰体光源,存在发射光谱范围比较广的问题,提出一种基于表面等离子体的超表面结构,将其覆盖在MEMS光源上实现一种有选择性、高发射率的窄带光源.还提出了一种改进的集总等效电路模型,通过模型能够比较准确地计算出超表面中结构尺寸对光源中心频率、带宽以及发射率的影响,探究了该结构中各个尺寸的改变对光... |
| 关 键 词： | 红外物理 MEMS红外窄带光源 集总等效电路模型 超表面 选择性 高发射率 |