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链状碳纳米管的制备及其场发射性能研究
引用本文:高金海,张 洁,李成刚,张兵临.链状碳纳米管的制备及其场发射性能研究[J].电子器件,2022,45(6):1354-1357.
作者姓名:高金海  张 洁  李成刚  张兵临
作者单位:郑州师范学院物理与电子工程学院;郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
基金项目:教育部科学技术重点资助项目(项目编号:205091);2018年河南省科技厅科技攻关项目(项目编号:182102210140);2018年河南省重点研发与推广专项(项目编号:182102210564);2017年度河南省科技计划项目(项目编号:172102210115)
摘    要:本文是利用微波等离子体化学气相沉积的方法,在钛金属层上快速制备出由众多内部中空、外观呈锥形链状的碳纳米管组成的碳膜。通过扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱等仪器分析了碳纳米管的组成。在真空条件下,测量了碳纳米管链薄膜的场电子发射特性。用热动力学过程解释了锥形碳纳米链的生长机理。

关 键 词:微波等离子体化学气相沉积  碳纳米管链  场发射
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