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一种用于低压防护的新型闩锁免疫双向可控硅
引用本文:陈磊,杨潇楠,杨波,陈瑞博,李浩亮.一种用于低压防护的新型闩锁免疫双向可控硅[J].微电子学,2020,50(6):899-902, 909.
作者姓名:陈磊  杨潇楠  杨波  陈瑞博  李浩亮
作者单位:郑州大学 信息工程学院, 郑州 450000
基金项目:国家自然科学基金资助项目(61874099)
摘    要:针对传统片上静电放电(ESD)防护器件双向可控硅(DDSCR)的低维持电压特性,设计了一种内嵌多MOS管的新型DDSCR。通过多MOS管组成的旁路通路进行分流,能够增强反偏结电场,从而提高器件抗闩锁能力。基于TCAD进行仿真,模拟TLP测试结果表明,与NLVT_DDSCR相比,新型器件的触发电压基本保持不变,维持电压从3.50 V提高到5.06 V,通过拉长关键尺寸D5,可将器件维持电压进一步提高到6.02 V,适用于电源轨为5 V的低压芯片防护。

关 键 词:静电放电    双向可控硅    分流    多脉冲仿真    维持电压
收稿时间:2019/5/22 0:00:00

A Novel Latchup-Immune DDSCR for Low Voltage Protection
CHEN Lei,YANG Xiaonan,YANG Bo,CHEN Ruibo,LI Haoliang.A Novel Latchup-Immune DDSCR for Low Voltage Protection[J].Microelectronics,2020,50(6):899-902, 909.
Authors:CHEN Lei  YANG Xiaonan  YANG Bo  CHEN Ruibo  LI Haoliang
Institution:School of Information Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450000, P. R. China
Abstract:
Keywords:ESD  DDSCR  shunting  multi-pulse simulation  holding voltage
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