| 光刻机试验运动装置振动信号的时频分析 |
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| 引用本文： | 邓习树,吴运新,隆志力,杨辅强.光刻机试验运动装置振动信号的时频分析[J].微细加工技术,2007(5):18-21. |
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| 作者姓名： | 邓习树 吴运新 隆志力 杨辅强 |
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| 作者单位： | 中南大学,机电工程学院,长沙,410083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金委项目重大项目课题;上海市科委资助项目 |
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| 摘 要： | 步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用.为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步进扫描光刻机的运动特点.在此基础上,对试验装置的关键部件进行了振动测试,运用傅里叶变换和现代联合时频分析技术对测得的数据分别进行了分析,结果表明,采用联合时频分析技术更能反映系统的固有性质和振动特性,所得到的参数和结果对指导步进扫描光刻机隔振装置的设计具有一定的实际意义.
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| 关 键 词： | 光刻机 模拟装置 振动 时频分析 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)05-0018-04 |
| 修稿时间： | 2007年4月14日 |
Time and Frequency Analysis of Vibration Signals for Testing Motion Equipment of Lithography |
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| DENG Xi-shu,WU Yun-xin,LONG Zhi-li,YANG Fu-qiang.Time and Frequency Analysis of Vibration Signals for Testing Motion Equipment of Lithography[J].Microfabrication Technology,2007(5):18-21. |
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| Authors: | DENG Xi-shu WU Yun-xin LONG Zhi-li YANG Fu-qiang |
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