| 激光清洗基片表面温度的有限元分析及讨论 |
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| 引用本文： | 谭东晖,陆冬生,宋文栋,安承武. 激光清洗基片表面温度的有限元分析及讨论[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1996, 0(6) |
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| 作者姓名： | 谭东晖 陆冬生 宋文栋 安承武 |
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| 作者单位： | 激光技术国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 激光技术国家重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 采用有限元方法分析了激光清洗过程中基片表面的温度分布，研究了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因，推导出使用波长为３０８ｎｍ，脉宽为２８ｎｓ的准分子激光清洗硅片表面油脂的清洗阈值和损伤阈值，并进行了实验验证，其理论清洗阈值与实验结果是符合的
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| 关 键 词： | 激光清洗；有限元；激光功率密度 |
A Finite Element Analysis of the Temperature Distribution on a Substrate Surface during Laser Cleaning |
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| Tan Donghui Lu Dongsheng Song Wendong An Chengwu. A Finite Element Analysis of the Temperature Distribution on a Substrate Surface during Laser Cleaning[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1996, 0(6) |
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| Authors: | Tan Donghui Lu Dongsheng Song Wendong An Chengwu |
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| Affiliation: | Tan Donghui Lu Dongsheng Song Wendong An Chengwu |
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| Keywords: | laser cleaning finite element laser power density |
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