| 工艺参数偏差对纳米压印a-Si太阳电池光学性质的影响 |
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| 引用本文： | 陆晓东,张鹏,周涛,赵洋,李媛,吕航.工艺参数偏差对纳米压印a-Si太阳电池光学性质的影响[J].人工晶体学报,2015,44(5):1247-1253. |
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| 作者姓名： | 陆晓东 张鹏 周涛 赵洋 李媛 吕航 |
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| 作者单位： | 渤海大学新能源学院,锦州,121000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11304020);辽宁省教育厅一般项目(L2012401) |
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| 摘 要： | 先基于实际工艺条件和频域有限差分法,优化了纳米压印三角带型a-Si太阳电池织构结构,然后重点探讨了有源层和铝背反镜厚度偏差、SiNx增透膜折射率和厚度偏差及织构结构几何尺寸偏差对a-Si太阳电池光电流密度的影响.研究表明:TM模受有源层和铝背反镜厚度偏差、SiNx增透膜折射率和厚度偏差及织构结构几何尺寸偏差的影响较小,平均光电流密度的变化主要受TE模光电流随工艺偏差的影响;增透膜和压印模板制备过程中,有效控制工艺参数的偏离是获得最优a-Si太阳电池设计性能的关键.
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| 关 键 词： | a-Si太阳电池 纳米压印 工艺偏差 |
Influence of Process Parameter Deviation on the Optical Properties of a-Si Solar Cell Fabricated by Nanoprinted Technology |
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| LU Xiao-dong,ZHANG Peng,ZHOU Tao,ZHAO Yang,LI Yuan,LV Hang.Influence of Process Parameter Deviation on the Optical Properties of a-Si Solar Cell Fabricated by Nanoprinted Technology[J].Journal of Synthetic Crystals,2015,44(5):1247-1253. |
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| Authors: | LU Xiao-dong ZHANG Peng ZHOU Tao ZHAO Yang LI Yuan LV Hang |
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