| 0-3法制备PZT厚膜及其性能研究 |
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| 引用本文： | 任伟,赵修臣,李俊红,汪承灏.0-3法制备PZT厚膜及其性能研究[J].人工晶体学报,2015,44(6):1551-1556. |
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| 作者姓名： | 任伟 赵修臣 李俊红 汪承灏 |
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| 作者单位： | 中国科学院声学研究所,声场声信息国家重点实验室,北京100190;北京理工大学材料学院,北京,100081 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11074274,11174319) |
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| 摘 要： | 采用0-3复合法制备PZT(PbZr0.52Ti0.48O3)厚膜,通过陈化、静置、去除沉淀颗粒、浓缩等方法改良了浆料配制工艺,大大改善了厚膜的表面粗糙度,制备出适于微压电换能器使用的PZT厚膜.采用单层退火的方式对厚膜进行了结晶热处理,研究了不同结晶温度对厚膜性能的影响.结果表明:改良的浆料配制工艺,明显降低了厚膜的表面粗糙度,大大改善了表面形貌;随着热处理温度的升高,厚膜的晶粒尺寸变大,剩余极化变大,矫顽场变小,粗糙度有增大的趋势;当结晶温度为700℃时,剩余极化达到15μC/cm2,矫顽场为30.5 kV/cm.
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| 关 键 词： | PZT厚膜 0-3法 结晶温度 粗糙度 |
Preparation and Properties of PZT Thick Film by 0-3 Method |
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| REN Wei,ZHAO Xiu-chen,LI Jun-hong,WANG Cheng-hao.Preparation and Properties of PZT Thick Film by 0-3 Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2015,44(6):1551-1556. |
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| Authors: | REN Wei ZHAO Xiu-chen LI Jun-hong WANG Cheng-hao |
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