| 大尺寸HVPE反应器托盘温度的数值模拟研究 |
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| 引用本文： | 赵江,左然,刘鹏,童玉珍,张国义. 大尺寸HVPE反应器托盘温度的数值模拟研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(7): 1849-1854 |
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| 作者姓名： | 赵江 左然 刘鹏 童玉珍 张国义 |
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| 作者单位： | 江苏大学能源与动力工程学院,镇江,212013;北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心,北京100871;东莞中镓半导体科技有限公司,东莞523500 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61176009);国家重点基础研究发展计划(973)(2011CB013101);国家高技术研究发展计划(863)(2014AA032605);国家自然科学基金重大仪器装备专项(61327801);广东省引进创新科研团队计划(2009010044) |
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| 摘 要： | 对大尺寸氢化物气相外延(HVPE)反应器的流场和温场进行二维数值模拟研究,旨在提高托盘表面温度和温度分布均匀性.基准模拟显示,靠近喷头的加热器对托盘温度的影响大于底部加热器,随着加热器功率增大,温度分布均匀性变差.在基准模拟的基础上,提出在反应器底部设置隔热钼屏的托盘升温方法.优化后的模拟显示,托盘温度升高约48 K,而温度均匀性变化不大.在使用4层钼屏的基础上,通过在石墨托盘内部开圆柱槽,显著提高了托盘温度分布均匀性,并使温度进一步提升约5K.
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| 关 键 词： | HVPE反应器 数值模拟 温场, |
Numerical Simulation Study on the Susceptor Temperature in Large-scale HVPE Reactor |
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| ZHAO Jiang,ZUO Ran,LIU Peng,TONG Yu-zhen,ZHANG Guo-yi. Numerical Simulation Study on the Susceptor Temperature in Large-scale HVPE Reactor[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2015, 44(7): 1849-1854 |
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| Authors: | ZHAO Jiang ZUO Ran LIU Peng TONG Yu-zhen ZHANG Guo-yi |
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