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| 反应溅射法制成的氧化锡薄膜气敏元件制造参量与CO灵敏度之间的关系 | |
| 引用本文： | Hubn,HP 吴功园.反应溅射法制成的氧化锡薄膜气敏元件制造参量与CO灵敏度之间的关系[J].电子,1991(2):40-41,19. |
| 作者姓名： | Hubn HP 吴功园 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 氧化锡 薄膜 气敏元件 反应溅射法 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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