| 液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究 |
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| 引用本文： | 周连军, 王静宇, 田丽萍, 任华, 袁绶章, 李东升, 舒畅, 王晓娟, 谢刚, 周嘉鼎. 液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究[J]. 红外技术, 2015, (6): 506-509,522. |
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| 作者姓名： | 周连军 王静宇 田丽萍 任华 袁绶章 李东升 舒畅 王晓娟 谢刚 周嘉鼎 |
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| 作者单位： | 昆明物理研究所,云南昆明,650223 |
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| 摘 要： | 应用不同浓度的溴甲醇溶液对液相外延碲镉汞表面进行化学腐蚀，并且测量了腐蚀速率。然后通过原子力显微镜及X射线光电子能谱分析了碲镉汞材料的表面状态。发现经过溴甲醇溶液腐蚀后，碲镉汞表面富碲现象较为严重而且表面粗糙度略有增加。
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| 关 键 词： | 碲镉汞 化学腐蚀 原子力显微镜 X射线光电子能谱 |
Study on Chemical Etching of LPE HgCdTe Surface |
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| ZHOU Lian-jun, WANG Jing-yu, TIAN Li-ping, REN Hua, YUAN Shou-zhang, LI Dong-sheng, SHU Chang, WANG Xiao-juan, XIE Gang, ZHOU Jia-ding. Study on Chemical Etching of LPE HgCdTe Surface[J]. Infrared Technology , 2015, (6): 506-509,522. |
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| Authors: | ZHOU Lian-jun WANG Jing-yu TIAN Li-ping REN Hua YUAN Shou-zhang LI Dong-sheng SHU Chang WANG Xiao-juan XIE Gang ZHOU Jia-ding |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HgCdTe chemical etching atomic force microscope(AFM) X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) |
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