| 微波激励N2等离子体的激光干涉测量 |
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| 引用本文： | 张泽渤,罗霄.微波激励N2等离子体的激光干涉测量[J].量子电子学报,1997,14(6):577-578. |
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| 作者姓名： | 张泽渤 罗霄 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所!北京，100080，InstituteofLaserandPlasmaPhysics，UniversityofDuesseldorf，Germany．，InstituteofLaserandPlasmaPhysics，UniversityofDuesseldorf，Germany．，InstituteofLaserandPlasmaPhysics，UniversityofDuesseldorf，Germany． |
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| 摘 要： | 近年来，超硬材料C3N4、GaN蓝光二极管激光引起人们的极大兴趣。另一方面汽车排放的NO对环境的污染也令人关注．为此，人们对N2等离子体的产生及其参数的测量进行了大量的研究。其中特别着重对微波激励N2的气体辉光放电进行研究，因为这种辉光放电效率高，安全可靠，并将有助于制备出优质的新材料、新器件，同时将有可能将NO转化为无害的化合物。本文将给出我们且近研制出的时间、空间可控的微波激励气体放电等离子体源，其结构参数是采用商用程序MAFIA算出的。放电腔尺寸为～90mm。fiX）mm，模式为TEMllD，微波输入盲目采用一10omm…
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| 关 键 词： | 微波激励 等离子体 氮 激光干涉 测量 |
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