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| 室温红外薄膜探测器 | |
| 引用本文： | 陈岩松.室温红外薄膜探测器[J].量子电子学报,1997,14(6):577-577. |
| 作者姓名： | 陈岩松 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所!北京，100080 |
| 摘 要： | 基于红外探测器在国民经济与军事上有重要应用，国内外学术界很注重对此的研究。一般最常用的是碲隔汞红外探测器，以及最近研究较多的量子阱红外探测器。这类器件虽然有较高的深测灵敏度，但它们必须在低温条件下使用．另一类是在室温条件下使用基于热电效应的铁电红外探测器．近年来，国外对铁电薄膜型的探测器研究更为重视，曾发表了不少论文．本文报道我们在研制室温薄膜红外探测器方面的工作。探测器样品以LaAlO3晶体为片基，在它上面通过沉积法依次制备高温超导薄膜层（YBCO）和掺来的铁电薄膜层PZT，再在其上面蒸镀一层金电极．… |
| 关 键 词： | 红外探测器 室温 铁电薄膜 |
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