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考虑准饱和效应的一种改进VDMOS物理模型
引用本文:鲍嘉明,孙伟锋,时龙兴.考虑准饱和效应的一种改进VDMOS物理模型[J].微电子学,2011,41(4).
作者姓名:鲍嘉明  孙伟锋  时龙兴
作者单位:1. 北方工业大学信息工程学院微电子学系,北京,100144
2. 东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心,南京,210096
摘    要:在考虑准饱和效应的情况下,给出了能够精确描述漂移区纵向电场对电子迁移率影响的微分方程,建立了包括用解析方法求解该方程、漂移区电压降求解方法等在内的一整套处理方法,并由此提出了VDMOS的一种改进物理模型.计算结果表明,与Kim Yeong-Seuk等人提出的模型相比,该改进模型在更大的工作电压范围内都具有较高的计算精度,特别是在VDMOS发生准饱和效应时,计算精度有较大程度的提高,更加符合MEDICI的模拟结果.

关 键 词:垂直双扩散MOS场效应晶体管  物理模型  准饱和效应

An Improved Physical Model for VDMOS Considering Quasi-Saturation Effect
BAO Jiaming,SUN Weifeng,SHI Longxing.An Improved Physical Model for VDMOS Considering Quasi-Saturation Effect[J].Microelectronics,2011,41(4).
Authors:BAO Jiaming  SUN Weifeng  SHI Longxing
Abstract:
Keywords:
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