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| 1000分辨率扫描离子显微镜 | |
| 引用本文： | 吴自勤.1000分辨率扫描离子显微镜[J].物理,1983(7). |
| 作者姓名： | 吴自勤 |
| 摘 要： | 利用二次电子成象的扫描电子显微镜的分辨率一般可以达到几十埃,但利用二次离子成象的离子探针的分辨率多年来停留在1μm. 美国《今日物理》1982年7月号报道:芝加哥大学的R.L.Setti等和休斯(Hughes)研究实验室的R.Seliger等协作,利用高亮度离子源产生的离子束激发二次电子成象, |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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