| 基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展 |
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| 引用本文： | 傅剑宇,陈大鹏,焦斌斌,欧毅,景玉鹏,董立军,叶甜春.基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展[J].电子工业专用设备,2007,36(1):10-14. |
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| 作者姓名： | 傅剑宇 陈大鹏 焦斌斌 欧毅 景玉鹏 董立军 叶甜春 |
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| 作者单位： | 中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展,并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 悬臂梁 微尖端 |
| 文章编号： | 1004-4507(2007)01-0010-05 |
| 修稿时间： | 12 20 2006 12:00AM |
Application of AFM-based Cantilever with Micro-probe |
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| FU Jian-yu,CHEN Da-peng,JIAO Bin-bin,OU Yi,JING Yu-peng,DONG li-jun,YE Tian-chun.Application of AFM-based Cantilever with Micro-probe[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2007,36(1):10-14. |
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| Authors: | FU Jian-yu CHEN Da-peng JIAO Bin-bin OU Yi JING Yu-peng DONG li-jun YE Tian-chun |
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| Institution: | Institute of microelectronics of Chinese academy of sciences, Beijing 100029 |
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| Abstract: | This paper introduces the work principle of AFM, and discusses the recent application of several AFM-based cantilevers with micro-probe in detail. Finally, it indicates the way this kind of devices will follow. |
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| Keywords: | AFM Cantilever Micro-probe |
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