| 干涉法测量铝薄膜的轴向应力 |
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| 引用本文： | 周思,陈迅驰,周惠君,王思慧.干涉法测量铝薄膜的轴向应力[J].物理实验,2008,28(9). |
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| 作者姓名： | 周思 陈迅驰 周惠君 王思慧 |
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| 作者单位： | 南京大学,物理学系,江苏,南京,210089 |
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| 基金项目： | 国家基金委物理学人才基地基金 |
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| 摘 要： | 将干涉法测量圆薄膜应力的方法推广到椭圆形铝薄膜,利用Stoney公式和牛顿环原理测量了常温下铝薄膜长轴和短轴方向上轴向应力的大小,给出了应力分布图像.
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| 关 键 词： | 薄膜应力 轴向应力 切向应力 Stoney公式 牛顿环 曲率半径 |
Measuring the axial stress in elliptic aluminum film using interference method |
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| ZHOU Si,CHEN Xun-chi,ZHOU Hui-jun,WANG Si-hui.Measuring the axial stress in elliptic aluminum film using interference method[J].Physics Experimentation,2008,28(9). |
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| Authors: | ZHOU Si CHEN Xun-chi ZHOU Hui-jun WANG Si-hui |
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