| 激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究 |
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| 引用本文： | 马艳,张宝武,郑春兰,马珊珊,李佛生,王占山,李同保. 激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究[J]. 物理学报, 2007, 56(3): 1365-1369 |
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| 作者姓名： | 马艳 张宝武 郑春兰 马珊珊 李佛生 王占山 李同保 |
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| 作者单位： | 同济大学物理系,上海 200092 |
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| 基金项目： | 上海市纳米科技专项基金 |
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| 摘 要： | 利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时，原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用激光驻波场会聚准直性较好的Cr原子，并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结构.经原子力显微镜测试表明纳米光栅的周期为215 nm.关键词：激光偶极力纳米计量原子沉积蓝失谐
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| 关 键 词： | 激光偶极力 纳米计量 原子沉积 蓝失谐 |
| 文章编号： | 1000-3290/2007/56(03)/1365-05 |
| 收稿时间： | 2006-04-06 |
| 修稿时间： | 2006-04-06 |
The preliminary result of laser- focused Cr atomic deposition for fabricating nanostructure |
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| Ma Yan,Zhang Bao-Wu,Zheng Cun-Lan,MA Shan-Shan,Li Fo-Sheng,Wang Zhan-Shan,Li Tong-Bao. The preliminary result of laser- focused Cr atomic deposition for fabricating nanostructure[J]. Acta Physica Sinica, 2007, 56(3): 1365-1369 |
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| Authors: | Ma Yan Zhang Bao-Wu Zheng Cun-Lan MA Shan-Shan Li Fo-Sheng Wang Zhan-Shan Li Tong-Bao |
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| Affiliation: | Departrnent of Physics, Tongji University, Shanghai 200092, China |
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| Abstract: | The technology of laser-focused atomic deposition can be used to develop the nanostrucrure transfer standard of length. When the frequency of laser standing wave is higher than the resonant frequency of atoms, the atoms will be focused on the wave node of the standing wave. The collimated Cr atoms are focused by a standing-wave laser field as they are deposited on a silicon substrate. Atomic force microscopy measurements shows a spacing of 215nm. |
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| Keywords: | laser dipole force nanometrology atoms deposition blue detuning |
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