| 微波氢气等离子体介电特性的研究 |
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| 引用本文： | 沈长圣,杨鸿生,龚克,孙永志. 微波氢气等离子体介电特性的研究[J]. 微波学报, 2009, 25(1) |
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| 作者姓名： | 沈长圣 杨鸿生 龚克 孙永志 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学电子科学与工程学院毫米波国家重点实验室,南京,210096
2. 信阳师范学院物理电子工程学院,信阳,464000 |
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| 摘 要： | 通过实验发现微波矩形波导谐振腔中氢气等离子体生成前后谐振腔的谐振频率发生了变化.根据实验测量和HFSS软件仿真计算出了等离子体的等效相对介电常数,并研究了压强对介电特性的影响.由仿真结果可知:氢气和氢气等离子体的相对介电常数明显不同,微波氢气等离子体的等效相对介电常数小于1.在一定的压强范围内,微波氢气等离子体的等效相对介电常数随着等离子体压强的变化而变化.
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| 关 键 词： | 等离子体 氢气 谐振腔 相对介电常数 |
Study on the Dielectric Characteristic of Microwave Hydrogen Plasma |
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| SHEN Chang-sheng,YANG Hong-sheng,GONG Ke,SUN Yong-zhi. Study on the Dielectric Characteristic of Microwave Hydrogen Plasma[J]. Journal of Microwaves, 2009, 25(1) |
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| Authors: | SHEN Chang-sheng YANG Hong-sheng GONG Ke SUN Yong-zhi |
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| Keywords: | |
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