电子回旋共振(ECR)等离子体的研究和应用 |
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作者姓名: | 宁兆元 任兆杏 |
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作者单位: | 中国科学院等离子体物理研究所 合肥(宁兆元),中国科学院等离子体物理研究所 合肥(任兆杏) |
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摘 要: | 近年来,在低气压、低温等离子体研究和应用中的一个重要发展是微波电子回旋共振放电。由于它是一种无极放电,能够在低气压下产生高密度、高电离度、大体积均匀的等离子体,所以在等离子体物理研究,表面处理和薄膜制备等应用中,成为一个十分引人注目的新领域。本文综述了ECR放电的基本物理过程和实验研究概况,介绍了ECR等离子体在表面处理、镀膜和离子源等方面应用的最新结果。
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关 键 词: | ECR等离子体 微波放电 回旋共振 |
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