| 离子液体电沉积 |
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| 引用本文： | 钟声,宋婷,张钰瑞,李垚,赵炜珍,刘瑞霞,张锁江.离子液体电沉积[J].中国科学:化学,2023(10):2008-2026. |
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| 作者姓名： | 钟声 宋婷 张钰瑞 李垚 赵炜珍 刘瑞霞 张锁江 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室,离子液体清洁过程北京市重点实验室,多相复杂系统国家重点实验室;2. 中国科学院大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大项目(编号:21890762)和国家自然科学基金优秀青年科学基金(编号:22222813)资助项目； |
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| 摘 要： | 离子液体具有电化学窗口宽,热稳定性良好和结构性能可调等独特的物理化学性质,是一种有着广阔应用前景的电沉积介质.本文介绍了离子液体电沉积的发展历程、典型的离子液体电沉积体系结构组成及其中的重要科学问题,并综述了近15年来离子液体电沉积的研究进展.本文详细介绍了五种不同类型离子液体中金属/合金的电沉积过程,包括卤素金属酸盐型离子液体、空气和水稳定型离子液体、低共熔溶剂、含金属阳离子型离子液体和质子型离子液体,并且系统概述了调节因素如沉积条件(电流密度、沉积模式、沉积时间、温度)和电解质成分(阴离子、阳离子、金属盐、添加剂、水分)对于沉积物形貌、组成、微观结构和性质的影响规律.之后,重点介绍了离子液体在半导体电沉积中的研究进展.最后,指出了目前离子液体电沉积在基础理论和技术研究中面临的挑战,并展望了其未来在电子信息领域的发展前景.
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| 关 键 词： | 离子液体 低共熔溶剂 电沉积 金属 半导体 |
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