| 高精度静电惯性传感器 |
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| 引用本文： | 王铖锐,白彦峥,蔡林,胡明,刘力,马云,屈少波,吴书朝,尹航,于健博,周泽兵.高精度静电惯性传感器[J].中国科学:物理学 力学 天文学,2023(5):26-42. |
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| 作者姓名： | 王铖锐 白彦峥 蔡林 胡明 刘力 马云 屈少波 吴书朝 尹航 于健博 周泽兵 |
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| 作者单位： | 华中科技大学物理学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(编号:11975105,11727814,12075092,41874217,42274229)；;国家重点基础研究发展计划(编号:2021YFC2202500,2020YFC2200803,2020YFC2200804,2020YFC2200502,2020YFC2200702,2022YFC2204102)资助项目； |
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| 摘 要： | 高精度静电惯性传感器是卫星重力测量、空间引力波探测和航天器微重力测量等应用领域的关键技术之一.本文介绍高精度空间静电惯性传感器的基本工作原理,给出惯性传感器的噪声模型,明确惯性传感器主要指标的设计原则,阐述惯性传感器的地面测试方法,基于惯性传感器敏感探头、检验质量和极板框架的精密结构体系,以及惯性传感器平衡间距、偏置电压、载波电压和反馈电压的参数设计,实现了惯性传感器分辨率10-8到10-12m/s2/Hz1/2量级的性能指标,满足了不同航天任务对惯性传感器量程和分辨率的需求,最后对更高精度的惯性传感器研究进行展望.
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| 关 键 词： | 引力波探测 空间引力实验 高精度惯性传感器 |
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