| 光学自由曲面面形检测技术 |
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| 引用本文： | 张磊,刘东,师途,杨甬英,李劲松,俞本立.光学自由曲面面形检测技术[J].中国光学,2017,10(3):283-299. |
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| 作者姓名： | 张磊 刘东 师途 杨甬英 李劲松 俞本立 |
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| 作者单位： | 1. 安徽大学 光电信息获取与控制教育部重点实验室, 安徽 合肥 230601;
2. 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（No.61675005，No.61440010）；安徽省自然科学基金资助项目（No.1508085MF118）；安徽省科技攻关项目（No.1501041136）；国家重点研发专项（No.2016YFC0302202）；安徽大学博士科研启动项目（No.J01003208） |
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| 摘 要： | 光学自由曲面因其表面自由度较大,可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差,同时满足现代光学系统高性能、轻量化和微型化的要求,逐渐成为现代光学工程领域的热点。自由曲面的检测技术已经成为制约其应用的最重要因素,而目前精密光学自由曲面的检测手段仍然沿用非球面检测方法。本文回顾了近年来的自由曲面检测发展历程,对目前主流的非接触式检测方法(微透镜阵列法,结构光三维检测法,相干层析术,干涉检测法)进行了重点介绍;总结了非球面检测方法运用到自由曲面检测中的技术难点,同时结合这些技术难点,展望了自由曲面检测的未来发展新趋势,主要集中在非旋转对称像差的动态补偿、分区域像差的回程误差校准及子孔径拼接技术。
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| 关 键 词： | 自由曲面检测 干涉检测法 子孔径拼接 非旋转对称像差补偿 |
| 收稿时间： | 2017-01-24 |
Optical free-form surfaces testing technologies |
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| ZHANG Lei,LIU Dong,SHI Tu,YANG Yong-ying,LI Jing-song,YU Ben-li.Optical free-form surfaces testing technologies[J].Chinese Optics,2017,10(3):283-299. |
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| Authors: | ZHANG Lei LIU Dong SHI Tu YANG Yong-ying LI Jing-song YU Ben-li |
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| Institution: | 1. Key Laboratory of Opto-electronic information Acquisition and Manipulation Ministry of Education, Anhui University, Hefei 230601, China;
2. State Key Lab of Modern Optical Instrumentation, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | free-form surface testing interferometry subaperture stitching rotationally asymmetric aberration compensation |
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