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| 金属氧化物半导体气敏材料抗湿性能提升策略 | |
| 引用本文： | 谭依玲,李诗纯,杨希,金波,孙杰. 金属氧化物半导体气敏材料抗湿性能提升策略[J]. 化学进展, 2022, 34(8): 1784-1795. DOI: 10.7536/PC211033 |
| 作者姓名： | 谭依玲 李诗纯 杨希 金波 孙杰 |
| 作者单位： | 1 中国工程物理研究院化工材料研究所 绵阳 621900 2 西南科技大学环境友好能源材料国家重点实验室 绵阳 621010 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(U1930205) |
| 摘 要： | 金属氧化物半导体气体传感器是目前研究和应用最为广泛的气体传感器之一，具有高灵敏、长寿命和低成本等优点。然而，金属氧化物半导体气敏材料在湿润环境中会与水蒸气发生相互作用，导致传感器的基线电阻发生漂移，气敏性能受到显著影响，成为传感器应用中面临的瓶颈问题。针对该问题，研究者们从抑制水的表面吸附、水与氧的竞争吸附及调控水与吸附氧的反应三个方面开发了一些金属氧化物半导体气敏材料的抗湿性能提升策略，从而提升金属氧化物半导体气敏材料的抗湿性。本文对水蒸气的影响机理进行了分析，对三类抗湿提升策略的未来发展提出展望，有望为金属氧化物半导体气敏材料抗湿性能的提升提供解决思路与方法指导。 |
| 关 键 词： | 金属氧化物 半导体气敏材料 抗湿 表面吸附 吸附氧 |
| 收稿时间： | 2021-10-28 |
| 修稿时间： | 2022-01-25 |
Strategies of Improving Anti-Humidity Performance for Metal Oxide Semiconductors Gas-Sensitive Materials |
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| Yiling Tan,Shichun Li,Xi Yang,Bo Jin,Jie Sun. Strategies of Improving Anti-Humidity Performance for Metal Oxide Semiconductors Gas-Sensitive Materials[J]. Progress in Chemistry, 2022, 34(8): 1784-1795. DOI: 10.7536/PC211033 | |
| Authors: | Yiling Tan Shichun Li Xi Yang Bo Jin Jie Sun |
| Affiliation: | 1 Institute of Chemical Materials, China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621900, China 2 State Key Laboratory of Environment-friendly Energy Materials, Southwest University of Science and Technology,Mianyang 621010, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | metal oxide semiconductor gas sensor anti-humidity surface adsorption adsorbed oxygen |
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