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| 嵌段共聚物薄膜快速自组装方法 | |
| 引用本文： | 刘玉玲,胡腾达,李伊莲,林洋,Borsali Redouane,廖英杰. 嵌段共聚物薄膜快速自组装方法[J]. 化学进展, 2022, 34(3): 609-615. DOI: 10.7536/PC210419 |
| 作者姓名： | 刘玉玲 胡腾达 李伊莲 林洋 Borsali Redouane 廖英杰 |
| 作者单位： | 1 上海大学材料科学与工程学院 上海 200444 2 上海大学机电工程与自动化学院 上海 200444 3 格勒诺布尔阿尔卑斯大学 格勒诺布尔 38000 |
| 摘 要： | 嵌段共聚物 (BCP) 薄膜可通过不同的退火方法诱导其微相分离,从而获得大面积圆柱状、层状和球状等纳米图案。这些长程有序的纳米结构形态,已经广泛应用在纳米光刻和电子器件等多个领域中。目前,有效且快速的退火方法仍然是BCP薄膜自组装技术中的研究热点。本文首先介绍了制备BCP薄膜纳米结构图案常用的退火技术,然后综述了三种新型快速退火技术,最后分析总结了这些退火技术的优缺点。 |
| 关 键 词： | 快速自组装 嵌段共聚物 薄膜 退火工艺 |
| 收稿时间： | 2021-04-15 |
| 修稿时间： | 2021-06-16 |
Fast Self-Assembly Methods of Block Copolymer Thin Films |
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| Yuling Liu,Tengda Hu,Yilian Li,Yang Lin,Borsali Redouane,Yingjie Liao. Fast Self-Assembly Methods of Block Copolymer Thin Films[J]. Progress in Chemistry, 2022, 34(3): 609-615. DOI: 10.7536/PC210419 | |
| Authors: | Yuling Liu Tengda Hu Yilian Li Yang Lin Borsali Redouane Yingjie Liao |
| Affiliation: | 1 School of Materials Science and Engineering, Shanghai University,Shanghai 200444, China 2 School of Mechanical and Electrical Engineering and Automation, Shanghai University,Shanghai 200444, China 3 University Grenoble Alpes, Grenoble 38000, France |
| Abstract: | |
| Keywords: | rapid self-assembly block copolymers thin film annealing methods |
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