| 铁电/超导集成膜和铁电多层膜的TEM研究 |
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| 引用本文： | 刘维. 铁电/超导集成膜和铁电多层膜的TEM研究[J]. 低温物理学报, 1999, 21(1): 54-58 |
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| 作者姓名： | 刘维 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所,中国科学院凝聚态物理中心,北京,100080 |
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| 摘 要： | 报道了用透射电子显微镜对单层ＹＢＣＯ薄膜，ＰＺＴ／ＹＢＣＯ集成薄膜，ＳＴＯ／ＧＢＣＯ集成薄膜和ＳＴＯ／ＢＴＯ超晶格薄膜等四种有代表性的薄膜样品的研究结果．在单层ＹＢＣＯ平面样品中观察到镶嵌，在生长在ＹＢＣＯ／ＳＴＯ上面生长的ＰＺＴ薄膜中，观察到柱状结构．用ＰＬＤ方法生长的ＳＴＯ／ＧＢＣＯ，ＹＳＺ集成薄膜中缺陷很少．虽然ＧＢＣＯ膜的表面并不平整，但仍能生长出ｃ取向的ＧＢＣＯ薄膜．用ＭＢＥ方法生长的ＳＴＯ／ＢＴＯ多层膜具有很好的外延特征．由于晶格匹配和层状生长机制所以具有锐的界面．这些结果对改进铁电超导集成薄膜和多层膜制备工艺是有用的
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| 关 键 词： | 铁电／超导 集成膜 铁电 多层膜 TEM |
TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY STUDY OF FERROELECTRIC/SUPERCONDUCTOR INTEGRATED FILMS AND FERROELECTRIC MULTILAYER FILMS |
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| Liu Wei. TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY STUDY OF FERROELECTRIC/SUPERCONDUCTOR INTEGRATED FILMS AND FERROELECTRIC MULTILAYER FILMS[J]. Chinese Journal of Low Temperature Physics, 1999, 21(1): 54-58 |
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| Authors: | Liu Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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