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| GaAs／GaAlAs脊型波导交变式△β耦合器 | |
| 引用本文： | 王立军,武胜利.GaAs／GaAlAs脊型波导交变式△β耦合器[J].光学学报,1994,14(2):19-221. |
| 作者姓名： | 王立军 武胜利 |
| 摘 要： | 研制了具有肖特基势垒电极的ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ双异质结脊型波导交变式△β耦合器。通过合理设计器件结构，降低波导层中载流子浓度和上、下包层中Ａｌ的含量，以及采用反应离子刻蚀和和剥离等技术，使器件总损耗降为１０ｄＢ，消光比为２６．８ｄＢ，器件在１．３μｍ下实现单模工作。 |
| 关 键 词： | 光调制器 耦合器 波导 半导体材料 |
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