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金刚石薄膜在电子行业中的应用

引用本文：	平木昭夫,王景义.金刚石薄膜在电子行业中的应用[J].微细加工技术,1990(2):39-40.

作者姓名：	平木昭夫王景义

摘要：
关键词：	金刚石薄膜电子行业
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