|
|||||
|
|
| Nb扩散LiTaO_3光波导的折射率分布测量 | |
| 引用本文： | 李玉善 ,范俊清.Nb扩散LiTaO_3光波导的折射率分布测量[J].光学技术,1980(3). |
| 作者姓名： | 李玉善 范俊清 |
| 摘 要： | <正> 在Ⅱ—Ⅳ族半导体、LiNbO_3、LiTaO_3及玻璃等材料的衬底上,用扩散法制作光波导是实现集成光路有希望途径之一。要了解这种扩散光波导的传播特性,必须完整地掌握波导折射率分布的细节。目前,测量扩散光波导折射率分布的方法,有使用干涉显微镜的直接测量法和使用X射线微量分析器的间接测量法。我们用透射式干涉显微镜拍摄了Nb扩散LiTaO_3光波导的折射率分布干涉图形,用测微 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |