| 椭圆偏振光谱中的主角测量条件分析 |
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| 引用本文： | 赵海斌,夏国强,陈岳立,李晶,周仕明,陈良尧. 椭圆偏振光谱中的主角测量条件分析[J]. 光学学报, 2001, 21(6): 34-736 |
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| 作者姓名： | 赵海斌 夏国强 陈岳立 李晶 周仕明 陈良尧 |
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| 作者单位： | 复旦大学物理系, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金! (6 98780 0 3)，国家科技部和上海应用物理研究中心资助 |
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| 摘 要： | 对椭圆偏振光谱中的主角测量条件进行了分析。当入射角等于主角 θp 时 ,椭偏参数的相位为 90°,据此给出了当材料的介电函数已知时对θp 进行数值和解析计算的公式和方法 ,并可相应地计算出椭偏参数的幅值 ρp0 。在θp 入射角下测量可获得较高的数据精度。主角条件下椭偏参数 ρp0 及其相位Δp 的实验测量结果与计算值符合得很好。本工作给出的计算公式和方法可在其他光谱实验中获得应用。
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| 关 键 词： | 光谱学 椭偏光谱 主角 布儒斯特角 测量 |
Analysis of Measuring Condition for Principle Angle in Spectroscopic Ellipsometry |
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| Zhao Haibin Xia Guoqiang Chen Yueli Li Jing Zhou Shiming Cheng Liangyao. Analysis of Measuring Condition for Principle Angle in Spectroscopic Ellipsometry[J]. Acta Optica Sinica, 2001, 21(6): 34-736 |
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| Authors: | Zhao Haibin Xia Guoqiang Chen Yueli Li Jing Zhou Shiming Cheng Liangyao |
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