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在同步光源上兴起的一个高技术产业
引用本文:梁渝生.在同步光源上兴起的一个高技术产业[J].现代物理知识,1999,10(5):21-26.
作者姓名:梁渝生
作者单位:上海原子核所 201800
摘    要: 一、从芯片光刻说起 本世纪八、九十年代以来,计算机的迅速发展带动了科技、工业、通讯和陆海空交通、航天、医疗卫生、能源环保、广电文化和经济、国防各行各业的发展,这一惊人发展引起的信息革命冲击着社会的各个领域。

关 键 词:光刻胶  同步光  高技术  同步辐射  微结构  光束线  显微外科手术  X光刻  模吸收  吸收体厚度
收稿时间:1998-2-15
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