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在同步光源上兴起的一个高技术产业
引用本文:
梁渝生.在同步光源上兴起的一个高技术产业[J].现代物理知识,1999,10(5):21-26.
作者姓名:
梁渝生
作者单位:
上海原子核所 201800
摘 要:
一、从芯片光刻说起 本世纪八、九十年代以来,计算机的迅速发展带动了科技、工业、通讯和陆海空交通、航天、医疗卫生、能源环保、广电文化和经济、国防各行各业的发展,这一惊人发展引起的信息革命冲击着社会的各个领域。
关 键 词:
光刻胶
同步光
高技术
同步辐射
微结构
光束线
显微外科手术
X光刻
模吸收
吸收体厚度
收稿时间:
1998-2-15
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