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| 《光学技术》1991年总目录 | |
| 摘 要： | 工艺翅大规模集成电路光学光刻技术的现状与展望 (9 1.1)硬脆材料钻孔加工技术的研究·,··~……(91·l)大口径锗单晶的切片工艺············……(91·l)介绍一种新型的金属箔分划板······……(91·1)光学玻瑞加工后的表面结构研究···……(91·2)全息光栅复制工艺的研究············……(91·2)一种新型光学加工机床的探讨······……(91·3)用投影仪检控边厚差和中心差偏差……(91·3)偏翻酸钡(..0)晶体加工···············……(91.3)光胶垫板主要技术指标的给定及应用二(91·3)固… |
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