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激光陀螺基片散射收集系统的设计与分析
引用本文:杨开勇,魏志猛,龙兴武,刘贱平. 激光陀螺基片散射收集系统的设计与分析[J]. 光子学报, 2011, 40(4): 573-577. DOI: 10.3788/gzxb20114004.0573
作者姓名:杨开勇  魏志猛  龙兴武  刘贱平
作者单位:国防科学技术大学光电科学与工程学院光电工程系,长沙,410073
摘    要:研究了散射测量在激光陀螺用石英基片表面检测中的应用.比较发现,收集物镜比积分球更有利于体散射的消除,更适用于直接检测超光滑石英基片表面的散射测试系统.用ZEMAX设计了散射光收集物镜,使其数值孔径达到了0.4,并完全消除了轴上距离大于1.5 mm的散射点的体散射;为了消除光电倍增管输出本身随时间长漂的问题,设计了特定的...

关 键 词:表面粗糙度  表面散射  体散射  石英基片  激光陀螺

Design and Analysis of the Scattering Light Collection System for Substrates in Laser-gyro
YANG Kai-yong,WEI Zhi-meng,LONG Xing-wu,LIU Jian-ping. Design and Analysis of the Scattering Light Collection System for Substrates in Laser-gyro[J]. Acta Photonica Sinica, 2011, 40(4): 573-577. DOI: 10.3788/gzxb20114004.0573
Authors:YANG Kai-yong  WEI Zhi-meng  LONG Xing-wu  LIU Jian-ping
Abstract:
Keywords:
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