硅基光子集成芯片光纤陀螺 |
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引用本文: | 毛玉政,何建,谢良平,万洵,崔志超,李艾伦.硅基光子集成芯片光纤陀螺[J].中国惯性技术学报,2023(2):202-206+212. |
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作者姓名: | 毛玉政 何建 谢良平 万洵 崔志超 李艾伦 |
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作者单位: | 1. 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所;2. 陆军装备部驻株洲地区航空军事代表室 |
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基金项目: | 装备预先研究项目(50917010202); |
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摘 要: | 光纤陀螺用于敏感载体旋转角速率,是惯性导航系统的核心传感器之一。未来军用及民用领域对小体积、低成本的光纤陀螺需求巨大。利用光子集成芯片代替传统光纤分立器件,借助集成光学光刻工艺大规模批量生产的优势,降低生产成本,提高出货量,是光纤陀螺发展的重要方向。因此,在充分考虑目前国内微纳加工水平基础上,提出了一种工艺实现相对简单、可快速工程化的硅基光子集成芯片光纤陀螺设计方案。基于开环光纤陀螺架构,设计并加工了硅基光子芯片,实现了陀螺全部无源器件的片上集成,光子芯片尺寸约4 mm×3 mm;设计加工了四通道超细径保偏光纤阵列,实现波导与光纤多个耦合点的一次对准,大幅提高耦合封装效率;实现了光子集成芯片光纤陀螺样机25°C时零偏稳定性达到0.2°/h,性能优于相同结构的传统全光纤器件光纤陀螺。
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关 键 词: | 光纤陀螺 光子集成芯片 硅基光波导 超细径保偏光纤阵列 |
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